検出器に単一エネルギーの粒子が入射したときに、出力されるエネルギー（波高値）のばらつきの程度を示す数値。エネルギー換算した波高値分布曲線の標準偏差を入射エネルギーで割ったものを%単位で示すことが多いが、標準偏差の代わりに波高分布曲線の%全値幅（度数値がピーク値の半分となる波高値の差、Full Width at Half Maximum（FWHM））や半値幅（全値幅の半分、Half Width at Half Maximum（HWHM））なども半値幅（FWHMやHWHM）も用いられる。シンチレーション検出器で10%以下、半導体検出器では1%以下の値が得られている。分解能も参照。